１．はじめに

本セミナーの目的と達成レベル

２．高精度精密機械の基礎知識

• 2-1 精度編
  誤差論、系統誤差と偶然誤差
• 2-2 振動系
  １自由度系、２自由度＆多自由度系、動吸振器、質量系、ばね系、減衰系
  連成振動と非連成振動
• 2-3 電気・制御系
  タイマー割り込み処理、ディジタルフィルター設計、PID制御等
• 2-4 振動遮断の原理
• 2-5 評価規範
  RMS、1/3OCT分析、PSD
  VCカーブ/NIST-A
  諸外国の振動仕様

３．実践・高精度精密機械の防振設計

• 3-1 ６自由度運動のダイナミクス
  ・システムの運動方程式
• 3-2 センサ類
  加速度センサ、速度センサ、変位センサ（渦、静電容量）、圧力センサ
• 3-3 アクチュエータ類
  電磁アクチュエータ（VCM）、空気圧アクチュエータ（空気ばね）
• 3-4 支持方法
  弾性支持・防振支持、空気ばね支持
• 3-5 防振特性
  スカイフック制御
  加速度FB、速度FB、相対位置FB、加速度FF、ハイブリッド制御
• 3-6 防振要素技術
  ①二重防振方式、②補助タンク方式、③擬似補助タンク（圧力微分FB）
  ④エア制御＆ＶＣＭのハイブリッド制御
  ⑤アクチュエータ多点配置制御、⑥アクティブ・ダンピング技術
  （閑話休題：加速度センサの扱い）

４．建屋振動計測とデータ分析

• 4-1 一般の振動測定
  ・相反性
  ・入力（ハンマー、シェーカ）、各種ウィンドウ、コヒーレンス
• 4-2 実稼働解析
  ・建屋振動モードの特定（絶対に見逃してはいけない！）
• 4-3 現場の実践対応
  ・振動測定の玄人テクニック
  ・電気ノイズ処理
  ・超低周波の測定テクニック
• 4-4 建屋振動特性と補強
  ・建屋動剛性の推定
  ・地盤振動の特徴
  ・構造解析の限界
  ・補強の留意点

５．建屋振動仕様

• 5-1 設置床の振動特性
• 5-2 高精度精密機械の振動仕様

６．地震対応

• 6-1 通常地震
• 6-2 長周期地震動

７．今後のイノベーション

• 7-1 建屋振動と高精度精密機械の制御の有無
• 7-2 地震動感知器と高精度装置のBCM