B260376:測定･評価技術から取り組む薄膜の剥離･密着性の改善と制御

測定・評価技術から取り組む薄膜の剥離・密着性の改善と制御

📅 2026年3月6日（金）🕐 10:00～17:00💻 ライブ配信

本セミナーでは、薄膜の剥離や密着性の問題解決につながる手法について紹介します。まず、この問題に対処する際に最低限知っておくべき基本的な内容について解説し、その後に、具体例や事例を示しながら密着力や機械的物性、膜質の測定/評価手法のポイントを詳説します。

薄膜の剥離/密着性を改善/制御するための基礎知識から、密着力の測定・評価の要点と測定結果を材料開発やプロセス設計へと活かす方法、物性や構造の分析・評価の実例と具体的手法まで、実務に直結する内容をお届けします。

薄膜の剥離/密着性を改善/制御するための基礎知識
　1.1 剥離/密着性を理解するための3つのポイント
　　・薄膜のどこで剥離/破壊は発生するのか？
　　・膜応力とは？：薄膜形成時に発生する応力
　　・Griffithの破壊の考え方による膜剥離の条件
　1.2 密着性に関わる測定/評価をする前にチェックするポイント
　1.3 密着性の問題解決のために測定/評価プロセスを進める上での注意点
密着力の測定/評価技術の詳解と材料/プロセス設計への活かし方
　2.1 密着力測定をする際に気を付けるべき測定上の注意点
　2.2 スクラッチテストでみる測定/評価のポイント
　　・膜質の影響：膜厚や表面状態
　　・測定条件の影響：温度/湿度や基材硬度
　　・スクラッチマップの材料設計への活用
剥離/破壊に影響を与える薄膜物性/構造の分析/評価の実例と具体的手法
　3.1 機械的物性の評価（弾性率/伸び・硬さ・破壊靭性・膜応力）
　3.2 表面/界面近傍および微視的な内部構造や結合性の評価（表面状態分析・深さ方向の組成/構造分析・SEM/TEM利用の断面や微視的な構造/結合性解析）
まとめ・質疑応答