精密機械の防振設計・振動対策 《 基礎と実践 》
精密機械の防振設計・振動対策
《基礎と実践》
装置の具体的設計手法、設置床仕様/建屋振動特性、地震対策まで徹底解説!
セミナー概要
習得できる知識
- 振動評価技術の把握
- 建屋の振動仕様の理解
- 高精度装置の地震対策の理解
対象者
- 精密機械の設計・開発に携わる技術者
- 半導体製造装置の防振設計担当者
- 建屋振動対策を検討する方
セミナー趣旨:
6自由度計測器や半導体関連機器のような高精度機器においては、外部からの振動が計測精度や動作精度に重大な影響を及ぼすため、防振設計の最適化が極めて重要です。本セミナーでは、精密機械の防振設計に焦点を当て、誤差を最小限に抑えるための具体的な設計手法を探求し、高精度機器開発への貢献を目指します。
6自由度計測器や半導体関連機器のような高精度機器においては、外部からの振動が計測精度や動作精度に重大な影響を及ぼすため、防振設計の最適化が極めて重要です。本セミナーでは、精密機械の防振設計に焦点を当て、誤差を最小限に抑えるための具体的な設計手法を探求し、高精度機器開発への貢献を目指します。
講師紹介
専門講師
専門:微振動制御
経歴:
- 1990年4月 ~ : 大手精密機器メーカー
- 2019年4月 ~ : 千葉工業大学工学部 非常勤講師
- 2020年4月 ~ : 明治大学理工学部 非常勤講師
- 2025年4月 ~ : シンクトリア・コンサルティング チーフコンサルタント
専門分野:精密機械設計および微振動制御。長年、半導体製造装置の開発設計に従事し、量産機として世界一精密な半導体露光装置のステージおよび除振台の開発設計を担当。装置の振動仕様の決定、半導体工場の補強工事の仕様決めや工事の支援なども実施。
講演内容
1.はじめに
本セミナーの目的と達成レベル
2.高精度精密機械の基礎知識
- 2-1 精度編
誤差論、系統誤差と偶然誤差 - 2-2 振動系
1自由度系、2自由度&多自由度系、動吸振器、質量系、ばね系、減衰系
連成振動と非連成振動 - 2-3 電気・制御系
タイマー割り込み処理、ディジタルフィルター設計、PID制御等 - 2-4 振動遮断の原理
- 2-5 評価規範
RMS、1/3OCT分析、PSD
VCカーブ/NIST-A
諸外国の振動仕様
3.実践・高精度精密機械の防振設計
- 3-1 6自由度運動のダイナミクス
・システムの運動方程式 - 3-2 センサ類
加速度センサ、速度センサ、変位センサ(渦、静電容量)、圧力センサ - 3-3 アクチュエータ類
電磁アクチュエータ(VCM)、空気圧アクチュエータ(空気ばね) - 3-4 支持方法
弾性支持・防振支持、空気ばね支持 - 3-5 防振特性
スカイフック制御
加速度FB、速度FB、相対位置FB、加速度FF、ハイブリッド制御 - 3-6 防振要素技術
①二重防振方式、②補助タンク方式、③擬似補助タンク(圧力微分FB)
④エア制御&VCMのハイブリッド制御
⑤アクチュエータ多点配置制御、⑥アクティブ・ダンピング技術
(閑話休題:加速度センサの扱い)
4.建屋振動計測とデータ分析
- 4-1 一般の振動測定
・相反性
・入力(ハンマー、シェーカ)、各種ウィンドウ、コヒーレンス - 4-2 実稼働解析
・建屋振動モードの特定(絶対に見逃してはいけない!) - 4-3 現場の実践対応
・振動測定の玄人テクニック
・電気ノイズ処理
・超低周波の測定テクニック - 4-4 建屋振動特性と補強
・建屋動剛性の推定
・地盤振動の特徴
・構造解析の限界
・補強の留意点
5.建屋振動仕様
- 5-1 設置床の振動特性
- 5-2 高精度精密機械の振動仕様
6.地震対応
- 6-1 通常地震
- 6-2 長周期地震動
7.今後のイノベーション
- 7-1 建屋振動と高精度精密機械の制御の有無
- 7-2 地震動感知器と高精度装置のBCM
関連商品・サービス
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