B260386:TOF-SIMSの基礎と応用

TOF-SIMSの基礎と応用～飛行時間型二次イオン質量分析の基礎から最新応用まで～

📅 2026年3月26日（木）13:00～16:30🎥 ライブ配信 or アーカイブ配信💰 49,500円（税込）

TOF-SIMS（飛行時間型二次イオン質量分析法）は、固体最表面の高感度かつ詳細な化学分析が可能なユニークな表面分析法です。無機微量元素とともに有機物の化学構造情報を同時に取得でき、最新のクラスターイオンビーム技術により有機物の深さ方向分析能力も飛躍的に向上しています。

◎ アルバック・ファイ（株）分析技術顧問 理学博士 眞田 則明 氏が、TOF-SIMSの原理から最新の測定・解析技術と応用事例まで実践的に解説！

1. 表面分析法とは
表面・界面の重要性、各種表面分析法の特徴、他の分析手法との比較

2. TOF-SIMS法の原理と特徴
SIMSの原理、質量分析器の比較、TOF-SIMSの原理、一次イオン源、イメージング分析とRetrospective Analysis

3. 試料のサンプリングとハンドリング
測定可能な試料形状、ハンドリング注意点、粉末試料、絶縁試料の取り扱い

4. TOF-SIMS測定と解析の実際
測定モード、スペクトル測定・解析、マスピークの同定、MS/MSの利用

5. 深さ方向分析
スパッタイオン源の選択、クラスターイオンエッチングの原理と特徴、有機深さ方向分析

6. 最新のTOF-SIMS分析例
表面性状、微小異物、電極材料、高分子材料、薬剤、生体試料の分析事例

7. よくある質問・まとめ

眞田 則明 氏（アルバック・ファイ株式会社 分析技術顧問 理学博士）
専門：表面分析化学。Journal of Surface Analysis編集委員長。2015年より現職。

開催日時

2026/3/26

形式

オンライン

受講料

49,500円

主催

S&T