XPS（ESCA）の基本とノウハウ
XPS（ESCA）の基本とノウハウ
～X線光電子分光分析の基礎知識、測定手順と適切な分析運用～
多くの表面分析の中でも使用頻度が高いXPS（ESCA）の実務で役立つノウハウ＆テクニック
電池・半導体・触媒などの材料開発、品質保証、研究開発に携わる方必見！
セミナー概要
固体表面、他の材料、環境との界面では何が起きているのかを明らかにし、品質保証、研究開発、生産・製造に役立てるため、XPSの原理、試料作製と測定条件の設定方法、適切なデータ解析、最新のハードウェア技術の動向について解説します。
剥離、変色、劣化等の製造、品質保証における問題の検出や、電池・半導体・触媒などの各種材料・複合材料やデバイス開発のための表面・界面の制御と理解に必要な知識を習得できます。
開催情報
📅 開催日時
【ライブ配信】2025年8月29日（金）13:00～16:30
【アーカイブ配信】2025年9月16日（火）まで受付
（視聴期間：9/16～9/30）
💰 受講料
49,500円（税込）
E-Mail案内登録価格：46,970円
2名同時申込みで1名分無料（2名で49,500円）
📋 配布資料
PDFデータ（印刷可・編集不可）
ライブ配信：開催2日前を目安にダウンロード可
アーカイブ配信：配信開始日からダウンロード可
🎥 配信形式
ライブ配信（Zoom）またはアーカイブ配信をお選びいただけます
どちらでも同一料金で受講可能
講師紹介
眞田 則明 氏
アルバック・ファイ株式会社 分析技術顧問 理学博士
表面分析技術、特にXPS（ESCA）分析の専門家として長年の経験を持つ。アルバック・ファイ株式会社において分析技術顧問を務め、XPS分析の実務から最新技術動向まで幅広い知識を有する。
こんな方におすすめ
- XPS（ESCA）データを解釈する必要がある方
- 表面分析による解析を立案する必要がある方
- XPS分析の進め方を学びたい方
- XPS（ESCA）データ解釈の注意点を知りたい方
- 各種表面分析の中でのXPS分析の特徴と位置づけを理解したい方
セミナー内容
- 表面分析とは
- 材料表面・界面の重要性
- 各種表面分析手法
- 他の表面分析手法との比較
- AES（オージェ電子分光法）
- TOF-SIMS（飛行時間型二次イオン質量分析法）
- XPSの原理と特徴
- XPS装置の構成
- XPS分析の原理
- XPSスペクトルと化学シフト
- XPS分析が表面分析となる理由
- 深さ方向分析
- イメージング分析
- XPSの試料作成と測定条件
- 測定できる試料とその形状
- サンプリングの注意点
- 粉末試料
- 絶縁試料と中和
- 電池材料、導電物と絶縁物の混在試料
- 測定
- ワイドスペクトル（サーベイスペクトル）
- ナロースペクトル
- プロファイル分析
- データ処理
- XPSの強度計算
- 標準試料を用いない表面半定量
- 定量範囲の決定
- 化学状態の推定（カーブフィッティング）
- 最新の測定技術
- マイクロXPS分析
- ガスクラスターイオン銃による有機試料の深さ方向分析
- 高エネルギーXPS（HAXPES）
- UPS（紫外光電子分光法）とLEIPS（逆光電子分光法）
- AESと組み合わせた分析
- TOF-SIMSと組み合わせた分析
- よくある質問
- 定量に含めるピークと含めないサテライトピーク
- 中和がうまくいっていない時の考え方と対処
- カーブフィッティング（ピークフィッティング）をおこなってよい場合
- 分析結果をきれいに見せる
- まとめ、質疑
