XPS（X線光電子分光法、ESCA）は、表面分析の中で最も広く利用されている手法の一つですが、一方で「もっともらしいスペクトル」が得られるため、一見正しく見える誤解釈が起こりやすい分析法でもあります。 近年は、複合材料、帯電防止処理材料、電池材料など、従来より複雑な実用材料が増え、「XPSで見えたものをそのまま信じる危険」が高まっています。ピーク分離、深さ方向分析の方法選択とデータ解釈、表面汚染の影響、帯電補正の考え方、定量値の取り扱いなど、測定や解析の進め方によって結論が大きく変わる場合が増加しています。また、近年は電池・半導体・有機材料・接着材料など複雑な材料系が増え、「XPSで何が分かり、何が分からないか」を適切に判断する重要性が高まっています。 分析担当者は、装置を動かすだけでなく、結果の意味と限界を判断し、開発・製造・品質保証の意思決定につなげる役割を担います。装置の自動化が進み、生成AIやデータベースにより一般知識へアクセスしやすくなった現在でも、試料状態、測定条件、スペクトルの妥当性、他手法との整合性を判断する作業は、現場の分析担当者に求められ続けています。

本セミナーでは、XPSの基本原理を整理した上で、実際の現場で起こりやすい誤解釈やトラブル事例を中心に、表面分析をどのように設計し、データをどのように解釈するかを解説します。 他の表面分析手法との比較も交え、「失敗を防ぎ、問題解決につながるXPS分析」を適切に進めるための考え方を紹介します。